C:\Windows\Temp\cpuz147\cpuz147_x64.sys

俺だけなのか？
「C:\Windows\Temp\cpuz147\cpuz147_x64.sys」というファイルが削除できない。

名前の通りCPU-Zで作成される一時ファイルですね。
※正確にはROG版CPU-Z　最新版の1.85で作成更新されます

Tempフォルダを移動しているが「C:\Windows\Temp」配下に固定で作成されております。

ログファイル自体はCPU-Zを閉じると消えるがsysファイルは残ったままで…

Safeモードで削除しても駄目だったような？…再起動が数回が面倒と
後日確認しておきます。

分かったとCPU-Zも使用しているが今回の直接の原因は
「CORSAIR Utility Engine (iCUE)」とこちらが原因ですね。
「Corsair Service」を起動させると「C:\Windows\Temp\cpuz147\cpuz147_x64.sys」が
作成されます。
サービスを終了させると消えます。

数日前に公開された最新のiCUEでも同様の仕様みたいです。